雙電測(cè)電四探針?lè)阶桦娮杪蕼y(cè)試儀的使用方法
發(fā)布時(shí)間: 2023-08-19 16:12:13 點(diǎn)擊: 741
雙電測(cè)電四探針?lè)阶桦娮杪蕼y(cè)試儀的使用方法:
雙電測(cè)電法是一種利用四探針?lè)ㄟM(jìn)行測(cè)量的方法,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,能大大提高測(cè)試的精準(zhǔn)度,特別是對(duì)于斜置式四探針來(lái)說(shuō),這種方法更有優(yōu)勢(shì)。
雙電測(cè)電法主要運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量,其優(yōu)點(diǎn)是能夠提高測(cè)試的精準(zhǔn)度。該方法主要適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
準(zhǔn)備工作:
(1)將電源插頭插入儀器背面的電源插座,電源開(kāi)關(guān)置于斷開(kāi)位置。
(2)工作方式開(kāi)關(guān)置于"短路"位置,電流開(kāi)關(guān)處于彈出位置。
(3)將手動(dòng)測(cè)試架的屏蔽線插頭與電氣箱的輸入插座連接好。
(4)對(duì)測(cè)試樣品進(jìn)行一定的處理(如噴沙,清潔等)。
(5)調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度及濕度使之達(dá)到測(cè)試要求。
測(cè)試:
(1)將電源開(kāi)關(guān)置于開(kāi)啟位置,測(cè)量選擇開(kāi)關(guān)置于"短路",出現(xiàn)數(shù)字顯示,通電預(yù)熱半小時(shí)。
(2)放好樣品,壓下探頭,將測(cè)量選擇開(kāi)關(guān)置于"測(cè)量"位置,極性開(kāi)關(guān)置于開(kāi)關(guān)上方。
(3)選擇適當(dāng)?shù)碾妷毫砍毯碗娏髁砍蹋瑪?shù)字顯示基本為"0000",若末位有數(shù)字,可旋轉(zhuǎn)調(diào)零調(diào)節(jié)旋鈕使之顯示為"0000"。
(4)將工作方式開(kāi)關(guān)置于"I調(diào)節(jié)",按下電流開(kāi)關(guān),旋動(dòng)電流調(diào)節(jié)旋鈕,使數(shù)字顯示為"1000",該值為各電流量程的滿量程值。
(5)再將極性開(kāi)關(guān)壓下,使數(shù)顯也為1000±1,退出電流開(kāi)關(guān),將工作方式開(kāi)關(guān)置于1或6.28處(探頭間距為1.59mm時(shí)置于1位置,間距為1mm時(shí)置于6.28位置)。(調(diào)節(jié)電流后,上述步驟在以后的測(cè)量中可不必重復(fù)。)
(6)若數(shù)顯熄滅,剩"1",表示超出該量程電壓值,可將電壓量程開(kāi)關(guān)撥到更高檔。
(7)讀數(shù)后,將極性開(kāi)關(guān)撥至另一方,可讀出負(fù)極性時(shí)的測(cè)量值,將兩次測(cè)量值取平均數(shù)即為樣品在該處的電阻率值。
注意事項(xiàng):
(1)壓下探頭時(shí),壓力要適中,以免損壞探針。
(2)由于樣品表面電阻可能分布不均,測(cè)量時(shí)應(yīng)對(duì)一個(gè)樣品多測(cè)幾個(gè)點(diǎn),然后取平均值。
(3)樣品的實(shí)際電阻率還與其厚度有關(guān),還需查附錄中的厚度修正系數(shù),進(jìn)行修正。
